近(jin)年來(lai),傳(chuan)感(gan)器(qi)正處于傳(chuan)統型(xing)(xing)向新型(xing)(xing)傳(chuan)感(gan)器(qi)轉型(xing)(xing)的發展階段。新型(xing)(xing)傳(chuan)感(gan)器(qi)的特點(dian)是(shi)微(wei)型(xing)(xing)化、數字(zi)化、智能化、多(duo)功能化、系統化、網絡化,它不僅促進了傳(chuan)統產業(ye)的改造(zao),而且可導致(zhi)建(jian)立(li)新型(xing)(xing)工業(ye),是(shi)21世紀新的經濟(ji)增長點(dian)。微(wei)型(xing)(xing)化是(shi)建(jian)立(li)在微(wei)電子機械系統(MEMS)技術基礎(chu)上(shang)的,目前已(yi)成(cheng)功應用在硅器(qi)件上(shang)形成(cheng)硅壓力傳(chuan)感(gan)器(qi)(如上(shang)述EJX變送(song)器(qi))。
微(wei)(wei)(wei)(wei)電(dian)子機(ji)械(xie)(xie)加工(gong)技(ji)(ji)術(shu)(shu),包括體(ti)微(wei)(wei)(wei)(wei)機(ji)械(xie)(xie)加工(gong)技(ji)(ji)術(shu)(shu)、表(biao)面微(wei)(wei)(wei)(wei)機(ji)械(xie)(xie)加工(gong)技(ji)(ji)術(shu)(shu)、LIGA技(ji)(ji)術(shu)(shu)(X光(guang)(guang)深(shen)層光(guang)(guang)刻、微(wei)(wei)(wei)(wei)電(dian)鑄和(he)(he)微(wei)(wei)(wei)(wei)復制技(ji)(ji)術(shu)(shu))、激光(guang)(guang)微(wei)(wei)(wei)(wei)加工(gong)技(ji)(ji)術(shu)(shu)和(he)(he)微(wei)(wei)(wei)(wei)型(xing)封裝(zhuang)技(ji)(ji)術(shu)(shu)等。MEMS的(de)發展,把(ba)傳(chuan)感器的(de)微(wei)(wei)(wei)(wei)型(xing)化(hua)(hua)、智能化(hua)(hua)、多功能化(hua)(hua)和(he)(he)可靠性水(shui)平(ping)提高到了新的(de)高度。傳(chuan)感器的(de)檢測(ce)儀表(biao),在(zai)微(wei)(wei)(wei)(wei)電(dian)子技(ji)(ji)術(shu)(shu)基(ji)礎(chu)上,內(nei)置微(wei)(wei)(wei)(wei)處理(li)器,或(huo)把(ba)微(wei)(wei)(wei)(wei)傳(chuan)感器和(he)(he)微(wei)(wei)(wei)(wei)處理(li)器及相關集成(cheng)電(dian)路(lu)(運算放(fang)大器、A/D或(huo)D/A、存貯器、網絡通訊接(jie)口電(dian)路(lu))等封裝(zhuang)在(zai)一起完成(cheng)了數字化(hua)(hua)、智能化(hua)(hua)、網絡化(hua)(hua)、系統化(hua)(hua)。(注:MEMS技(ji)(ji)術(shu)(shu)還完成(cheng)了微(wei)(wei)(wei)(wei)電(dian)動(dong)機(ji)或(huo)執行(xing)器等產品,將(jiang)另作文介(jie)紹(shao))網絡化(hua)(hua)方面,目前主要(yao)是指采用多種現場總線和(he)(he)以太網(互聯網),這(zhe)要(yao)按各行(xing)業的(de)特點,選擇其中的(de)一種或(huo)多種,近年內(nei)最流行(xing)的(de)有FF、Profibus、CAN、Lonworks、AS-Interbus、TCP/IP等。
除MEMS外,新型(xing)傳(chuan)感器(qi)(qi)(qi)的(de)發展還有(you)賴于新型(xing)敏(min)感材料、敏(min)感元(yuan)件和(he)納(na)米技(ji)術(shu),如(ru)新一代光纖傳(chuan)感器(qi)(qi)(qi)、超(chao)導傳(chuan)感器(qi)(qi)(qi)、焦平面陳列紅外探測器(qi)(qi)(qi)、生物傳(chuan)感器(qi)(qi)(qi)、納(na)米傳(chuan)感器(qi)(qi)(qi)、新型(xing)量(liang)子傳(chuan)感器(qi)(qi)(qi)、微型(xing)陀螺、網絡化傳(chuan)感器(qi)(qi)(qi)、智能(neng)傳(chuan)感器(qi)(qi)(qi)、模糊(hu)傳(chuan)感器(qi)(qi)(qi)、多(duo)功(gong)能(neng)傳(chuan)感器(qi)(qi)(qi)等。
多傳感器數據融合技術正在形成熱點,它形成于20世紀80年代,它不同于一般信號處理,也不同于單個或多個傳感器的監測和測量,而是對基于多個傳感器測量結果基礎上的更高層次的綜合決策過程。有鑒于傳感器技術的微型化、智能化程度提高,在信息獲取基礎上,多種功能進一步集成以致于融合,這是必然的趨勢,多傳感器數據融合技術也促進了傳感器技術的發展。多傳感器數據融合的定義概括:把分布在不同位置的多個同類或不同類傳感器所提供的局部數據資源加以綜合,采用計算機技術對其進行分析,消除多傳感器信息之間可能存在的冗余和矛盾,加以互補,降低其不確實性,獲得被測對象的一致性解釋與描述,從而提高系統決策、規劃、反應的快速性和正確性,使系統獲得更充分的信息。其信息融合在不同信息層次上出現,包括數據層(像素層)融合、特征層融合、決策層(證據層)融合。由于它比單一傳感器信息有如下優點,即容錯性、互補性、實時性、經濟性,所以逐步得到推廣應用。應用領域除軍事外,已適用于自動化技術、機器人、海洋監視、地震觀測、建筑、空中交通管制、醫學診斷、遙感技術等方面。
我(wo)國傳感(gan)器產業要適應技術(shu)潮流,向國內外兩個(ge)市場相結(jie)合的國際化方向發展,讓傳感(gan)器和檢測(ce)儀表抓住信息化的發展機遇。