據(ju)中國(guo)科學(xue)院(yuan)力(li)學(xue)研究所消(xiao)息(xi)在中國(guo)科學(xue)院(yuan)重大科研裝備研制(zhi)項(xiang)目的(de)資助下(xia)，力(li)學(xue)研究所國(guo)家微重力(li)實驗室靳剛(gang)課題(ti)組成功(gong)研制(zhi)出“光(guang)譜橢(tuo)偏成像(xiang)系統”及其實用化樣機。
該研究是(shi)利用(yong)高靈敏的(de)光學橢(tuo)偏測(ce)量術(shu)，同時結(jie)合光譜性能及數字成像(xiang)技術(shu)，具有對(dui)復(fu)(fu)雜(za)二維分布的(de)納米層構(gou)薄(bo)膜樣(yang)品的(de)快(kuai)速光譜成像(xiang)定量測(ce)量能力(li)。在中科院專(zhuan)(zhuan)家(jia)組對(dui)儀(yi)器(qi)性能和各(ge)項技術(shu)指標進行現場測(ce)試的(de)基礎上，驗收專(zhuan)(zhuan)家(jia)組一(yi)致(zhi)認(ren)為：系統為復(fu)(fu)雜(za)橫向(xiang)結(jie)構(gou)的(de)大面(mian)積多層納米薄(bo)膜樣(yang)品的(de)快(kuai)速表(biao)征和物性分析提供了有效手段，是(shi)一(yi)種納米薄(bo)膜三維結(jie)構(gou)表(biao)征的(de)新方法(fa)。
光(guang)(guang)(guang)譜(pu)橢(tuo)偏成(cheng)像系(xi)統的(de)(de)(de)特點在于(yu)：信(xin)息量(liang)(liang)(liang)大(da)，可同時(shi)測量(liang)(liang)(liang)大(da)面(mian)積(ji)樣品上各微(wei)(wei)區的(de)(de)(de)連(lian)續光(guang)(guang)(guang)譜(pu)橢(tuo)偏參數，從而可以獲得(de)相(xiang)關材料物理(li)參數（如厚度、介電(dian)函數、表(biao)面(mian)微(wei)(wei)粗糙度、合成(cheng)材料中的(de)(de)(de)組分比例等）及(ji)其空間分布(bu);空間分辨率(lv)高，對納米薄膜的(de)(de)(de)縱向分辨和(he)重復(fu)性均(jun)達(da)(da)到(dao)0.1nm、橫向分辨達(da)(da)到(dao)微(wei)(wei)米量(liang)(liang)(liang)級;檢測速度快，單波(bo)長下獲得(de)圖像視場內(nei)各微(wei)(wei)區（42萬像素以上）的(de)(de)(de)橢(tuo)偏參量(liang)(liang)(liang)（ψ和(he)Δ）的(de)(de)(de)采樣時(shi)間達(da)(da)到(dao)7秒(miao)，比機械掃描式(shi)光(guang)(guang)(guang)譜(pu)橢(tuo)偏儀(yi)提高2~3個量(liang)(liang)(liang)級;結果直觀(guan)，形成(cheng)視場內(nei)對比測量(liang)(liang)(liang)，可準確(que)定位和(he)排(pai)除偽(wei)信(xin)號，這是(shi)單光(guang)(guang)(guang)束光(guang)(guang)(guang)譜(pu)橢(tuo)偏儀(yi)所不具(ju)備的(de)(de)(de)，并且系(xi)統自(zi)動化(hua)程度高，操作簡(jian)便。
該系統既可應用于(yu)單(dan)光(guang)(guang)束(shu)光(guang)(guang)譜(pu)橢(tuo)偏(pian)儀(yi)所(suo)覆蓋的領(ling)域(yu)，也可應用于(yu)單(dan)波(bo)長(chang)或分(fen)立(li)波(bo)長(chang)的橢(tuo)偏(pian)成像儀(yi)所(suo)涉及(ji)的領(ling)域(yu)，適(shi)合(he)同(tong)時需要高(gao)空間分(fen)辨(bian)和光(guang)(guang)譜(pu)分(fen)辨(bian)測量的納米薄膜器(qi)(qi)件(jian)測量的場合(he)，這將(jiang)為橢(tuo)偏(pian)測量開拓新(xin)的應用方向。目(mu)前已成功應用于(yu)“863”項目(mu)“針(zhen)對腫瘤(liu)標志譜(pu)無標記檢測蛋白質微(wei)陣列生物傳感(gan)器(qi)(qi)的研制(zhi)”等研究(jiu)工(gong)作中(zhong)，并(bing)將(jiang)在微(wei)/納制(zhi)造(zao)、生物膜構造(zao)、新(xin)型電子器(qi)(qi)件(jian)、生物芯片及(ji)高(gao)密(mi)度(du)存儲器(qi)(qi)件(jian)等領(ling)域(yu)中(zhong)發揮重要作用。 |
